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本发明属于金刚石薄膜制备技术领域，涉及一种用于提高金刚石薄膜沉积速率的液相脉冲辉光放电装置，包括：微波谐振反应腔，其左右两端分别连接进气口、压力表及出气口、真空泵；腔体上部设置一高功率双极脉冲辉光放电电源，两极分别连接阴、阳极升降杆，通过一...
该专利属于北京科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京科技大学授权不得商用。

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