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本技术涉及抽真空装置技术领域,且公开了一种用于真空离子釜的抽真空装置,包括离子釜,所述离子釜的底部固定连接有支脚,所述离子釜的一侧固定连接有第一连接管,所述第一连接管的外表面活动连接有固定壳,所述固定壳的内表面活动连接有中置管,所述中置管内...该专利属于上海望寒新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海望寒新材料科技有限公司授权不得商用。
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