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计测装置制造方法及图纸
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下载计测装置的技术资料
文档序号:43849181
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计测装置具备:光源,射出光;干涉光学系统,将从上述光源射出的上述光分离为参照光和用来照射物体的照射光,并且使上述照射光被上述物体反射而产生的反射光与上述参照光干涉而生成干涉光;输出纤维,与上述干涉光学系统连接,对上述照射光进行导波;光学元件...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。
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