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一种柔性的可多自由度调节的反射镜组件制造技术
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文档序号:43848385
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本发明公开了一种柔性的可多自由度调节的反射镜组件,涉及反射镜安装调试技术领域,包括柔性反射镜安装支架,柔性反射镜安装支架顶部向内加工成凹槽用于放置直角反射镜;柔性反射镜安装支架通过锁紧螺丝安装在反射镜组件的安装载体上;柔性反射镜安装支架与锁...
该专利属于上海图双精密装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海图双精密装备有限公司授权不得商用。
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