下载一种降低硅片收尾色差的方法及单晶硅片的技术资料

文档序号:43816942

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种降低硅片收尾色差的方法及单晶硅片,该方法包括在硅片切割收尾阶段,对切割液进行调整,同时对切割工艺进行调整;其中,对切割工艺进行调整包括:调整切割线速度,使切割线速度逐渐降低,调整切割台速度,使切割台速度逐渐降低,调整切割方向...
该专利属于新疆新晶科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新疆新晶科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。