下载压力产生装置及包含所述压力产生装置的检测系统的技术资料

文档序号:43816229

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一种压力产生装置包含槽体、可变形膜、驱动装置及致动臂。所述槽体界定腔室,并包括开口及连通口,所述开口及所述连通口都与所述腔室流体连通。所述可变形膜密封所述开口,并且可在平坦状态和变形状态之间变换形态。所述致动臂耦接于所述驱动装置而能被驱动在...
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