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本发明公开了一种高灵敏度高稳定性的超导动态电感探测器及制备方法，包括：硅基板以及制作在硅基板上表面的共面波导传输线和混合结构超导微波谐振器，混合结构超导微波谐振器由并联的双螺旋形电感和叉指电容组成，双螺旋形电感采用β‑Ta薄膜制备，叉指电容...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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