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本公开提供了一种晶体管X射线探测器及其制备方法。该晶体管X射线探测器包括晶体管，晶体管包括：栅极、栅介质层、异质结层、源极和漏极；栅介质层设置于栅极与异质结层之间，异质结层包括界面钝化层和沟道层，沟道层为氧化镓沟道层，界面钝化层与沟道层构成...
该专利属于松山湖材料实验室所有，仅供学习研究参考，未经过松山湖材料实验室授权不得商用。

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