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本发明公开了一种极紫外光刻胶轮廓的预测方法、预测装置和电子设备，预测方法包括：将目标光刻胶划分为预设数量个体积相同的元胞单元，并进行逐级分组；根据对目标光刻胶曝光后每一元胞单元中各粒子的初始分布数据，计算每级分组中每一计算组的倾向函数值；倾...
该专利属于广东省大湾区集成电路与系统应用研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东省大湾区集成电路与系统应用研究院授权不得商用。

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