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本技术提供了一种带液压机械阀控制的分控箱,包括箱体、过滤总成及串联设置的机械阀、液压阀及真空排气阀;所述箱体上设有吸真空接口及内部流道,所述内部流道具有与所述吸真空接口相连通的第一端及贯穿所述箱体的第二端;所述过滤总成设置在箱体上并具有连通...该专利属于苏州赛亚杰真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州赛亚杰真空科技有限公司授权不得商用。
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