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本发明公开了一种室温高灵敏谐振型微机电红外热探测器，探测器包括：第一悬臂谐振器、耦合结构和第二悬臂谐振器依次与固定结构相连，实现弱耦合；超表面红外吸收体结构有两个，第一个超表面红外吸收体布设在第一悬臂谐振器的顶端，第二个超表面红外吸收体布设...
该专利属于中国计量大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学授权不得商用。

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