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宽禁带半导体器件制造技术
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文档序号:43776711
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本发明公开了一种宽禁带半导体功率器件,包括至少一个元胞结构,元胞结构包括:衬底;宽禁带半导体层,设于衬底之上;若干源极沟槽和栅极沟槽,均平行分布于宽禁带半导体层,且两者间隔设置;源区,设于源、栅极沟槽之间的宽禁带半导体层中;第一源电极,设于...
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