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本技术的一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，包括原料瓶、第一吸附腔、第二吸附腔、精馏塔、回收罐、成品罐，原料瓶的侧方设置有第一吸附腔，第一吸附腔的侧方设置有第二吸附腔，第二吸附腔的侧方设置有精馏塔，精馏塔的侧方设置有成品罐，精馏塔的后方设置有回...
该专利属于和立气体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过和立气体（上海）有限公司授权不得商用。

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