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本发明公开一种红光Vcsel结构及其制造方法，红光Vcsel结构包括衬底、缓冲层、N型DBR反射层、谐振腔层和P型DBR反射层；谐振腔层包括由下至上依次层叠的Al<subgt;0.5</subgt;In<subgt;0.5...
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