下载一种具有检测功能的全自动硅片规整装置的技术资料

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本技术公开了一种具有检测功能的全自动硅片规整装置,包括机架、工作台、检测机构、规整机构、输送线和移栽机构,所述机架上安装有工作台,工作台上安装有检测机构,检测机构的一侧设置有规整机构,检测机构的另一侧设置有输送线,检测机构的上方设置有移栽机...
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