下载双层曝光设备的技术资料

文档序号:43664657

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本申请涉及曝光机技术领域,尤其涉及一种双层曝光设备。在第一工作区域对待曝光件进行上料和下料,在第二工作区域对待曝光件进行曝光。在对待曝光件进行曝光加工的过程中,通过第一移动机构使第一装载机构与第二装载机构在第一工作区域与第二工作区域之间交替...
该专利属于广东科视光学技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东科视光学技术股份有限公司授权不得商用。

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