下载压力检测装置的技术资料

文档序号:43638216

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本发明涉及的压力检测装置具备压力传感器和驱动控制部。压力传感器具备第一电路形成层、传感器层以及第二电路形成层。第一电路形成层具有第一检测电极、第一开关元件、第一栅极线以及第一栅极线驱动电路。第二电路形成层具有第二检测电极、第二开关元件、第二...
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