下载双卡盘测试系统的技术资料

文档序号:43625363

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本申请提供了一种双卡盘测试系统,包括用于放置待测载片的第一卡盘和第二卡盘、用于将所述第一卡盘和所述第二卡盘移动到运输到检测位置的七轴直线运动系统以及用于对所述待测载片进行测试的测试机构。本申请提供的双卡盘测试系统,通过七轴直线运动系统可对待...
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