下载一种光学元件表面形貌特征提取识别的方法的技术资料

文档序号:43617962

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本发明公开了一种光学元件表面形貌特征提取识别的方法,包括以下步骤:获取二维表面形貌信息;局部形貌特征识别与过滤;计算二维功率谱密度函数,径向平均获得一维功率谱密度函数;线性拟合双对数坐标下的一维功率谱密度函数,得到斜率p与截距q;根据拟合结...
该专利属于浙江同越光学科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江同越光学科技有限公司授权不得商用。

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