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本申请公开一种基于超导薄膜的机械振子量子器件及其制备方法。包括：包括：底电极、第一反馈线路以及套刻标记结构制备；牺牲层结构制备，牺牲层结构包括鼓膜区和向外延伸结构，牺牲层结构的边缘的轮廓与修正后的第二光刻胶图案的轮廓一致；顶电极和第二反馈线...
该专利属于北京量子信息科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京量子信息科学研究院授权不得商用。

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