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本发明公开了一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪以及对薄膜样品的测量方法，属于椭偏测量技术领域。一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪，起偏支架和检偏支架均与竖直方向的夹角为θ<subgt;0</subgt;度；起偏支架上依次设置逐渐靠近样品放置台的太赫...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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