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一种在低温下制作的带应力释放膜的电容式麦克风及其制作方法，电容式麦克风包括一块基板，该基板上至少有一个谐振腔；一块隔膜，其设于谐振腔上部并与基板相连接；所述隔膜被声压波激发时实现机械振动；一块背板，其设于隔膜上部，该背板上设有多个穿孔；其中...
该专利属于王文;朱睿卿所有，仅供学习研究参考，未经过王文;朱睿卿授权不得商用。

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