温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基于单张灰度图像的精密主轴五自由度运动误差测量方法；将表面经过简单加工的工件放置于超精密气浮主轴上，在超精密气浮主轴运动时，通过带有白光干涉镜头的工业相机采集工件表面的灰度图像，对采集到的灰度图像进行分析计算，通过工件表面的...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。