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本发明实施例公开了超细晶金属靶材及其制备方法；方法包括：获取金属锭材；将金属锭材进行快速旋锻处理，到设置温度时对金属锭材进行深冷处理，得到超细晶金属靶材；其中，快速旋锻处理包括：金属锭材在旋转台的带动下转动，转动过程中从金属锭材的上方、侧面...
该专利属于郑州大学所有，仅供学习研究参考，未经过郑州大学授权不得商用。

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