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本申请提供了一种用于晶圆搬运的机械臂，包括伸缩臂以及通过第一转动组件独立转动设置于伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；其中，第一夹爪和第二夹爪的实体线分别通过第一转动组件上的第一走线通道和第二走线通道进入伸缩臂内部，从而避免了第一夹爪和第二夹爪...
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