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本发明提供一种等离子体处理装置，其包括在等离子体处理室内处于接地电位的被加工基材以及与该基材相对配置的电感耦合型天线单元，在二者之间具备调制等离子体电位的偏置电极。另外，本发明提供将多个所述处理室连接的串联方式的等离子体处理装置。...
该专利属于等离子体成膜有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过等离子体成膜有限公司授权不得商用。

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