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本发明公开了一种自适应的检验质量电荷控制方法与装置，水平方向的平行金属极板施加激励电压，测得位移信号并转为电压信号；根据电压信号计算控制力矩和反馈电压；将反馈电压施加到水平方向的平行金属极板，将检验质量控制在平衡位置；将电荷的估计值和检验质...
该专利属于之江实验室所有，仅供学习研究参考，未经过之江实验室授权不得商用。

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