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本发明公开了一种半导体支撑基座稳定性检测装置,涉及半导体支撑基座检测技术领域,包括:工作台顶端配合连接有承载机,工作台两端分别固定连接有检测处理器,所述检测处理器侧端固定连接有检测传感器,所述检测传感器与承载机配合,所述承载机配合连接有机器...该专利属于合肥玖福半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥玖福半导体技术有限公司授权不得商用。
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