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一种定向凝固生长多晶硅锭工艺，本发明属于半导体材料硅晶体的制备。以高性能的石英坩埚模具，用去离子水等作调料，将经处理的氮化硅粉料调成糊状，作脱模剂，用氩气和氮气为气氛，熔化时模具悬挂，凝固时模具支撑在水冷却的下转轴上，在下降模具的同时增大冷...
该专利属于谭文运所有，仅供学习研究参考，未经过谭文运授权不得商用。

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