下载单晶硅锭夹持装置的技术资料

文档序号:43529064

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本申请涉及一种单晶硅锭夹持装置,其包括夹具外体、两个夹具内体以及两个夹持臂,夹具外体具有空腔;两个夹具内体均滑动设置于空腔内;两个夹持臂与夹具外体滑动配合,两个夹持臂与两个夹具内体一一对应连接,两个夹具内体被配置为相对运动,以带动两个夹持臂...
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