温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明属于板式太阳能中的太阳能选择性吸收涂层的连续镀膜设备。一种连续卷绕式磁控溅射真空镀膜装置,包括放卷室、收卷室、张力控制室、预处理室、工艺室组成,放卷室和收卷室分别位于设备的首末两端,放卷室和收卷室分别与一个张力控制室连接,放卷室一端的...该专利属于深圳市鹏桑普太阳能股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市鹏桑普太阳能股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明属于板式太阳能中的太阳能选择性吸收涂层的连续镀膜设备。一种连续卷绕式磁控溅射真空镀膜装置,包括放卷室、收卷室、张力控制室、预处理室、工艺室组成,放卷室和收卷室分别位于设备的首末两端,放卷室和收卷室分别与一个张力控制室连接,放卷室一端的...