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光通信波段完美吸收的宽谱热电子光探测器及其制备方法技术
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文档序号:43512711
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本发明属于半导体光电探测器技术领域,为了解决现有技术中热电子发射机制的相应器件往往存在着响应带宽较窄、吸收效率较低等问题,公开了一种光通信波段完美吸收的宽谱热电子光探测器,包括:硅基衬底层,所述硅基衬底层表面刻蚀形成周期性的光栅结构,所述光...
该专利属于太原理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过太原理工大学授权不得商用。
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