下载一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备的技术资料

文档序号:43511165

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本发明涉及蚀刻液循环再生技术领域,具体为一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备,包括密封罐,所述密封罐的内部设置有增加蚀刻液与氯气接触面积的喷淋机构,所述喷淋机构包括安装在密封罐的两端且用来氯气进出的进气管以及出气管,所述密封罐的内部转动有与密封...
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