下载300mm立式氧化炉双壁反应管的技术资料

文档序号:4350611

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本发明公开了一种300mm立式氧化炉双壁反应管,设有圆桶形石英材料的外管壁和内管壁,内管壁与外管壁之间设有间隔夹层,外管壁上端封闭,内管壁上端为开口,内、外管壁下端密封连接;在内管壁的下端设有连通内、外管壁之间夹层和气源的进气管及连通内管壁...
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