下载一种基于复合纳米孔的生物分子检测芯片及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:43484209

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本发明涉及生物分子检测技术领域,公开了一种基于复合纳米孔的生物分子检测芯片及其制备方法和应用,包括依次层叠的硅基底、氮化硅薄膜以及石墨烯薄膜,所述氮化硅薄膜的上部开设有一纳米通道,所述氮化硅薄膜上挨着纳米通道的一侧处开设有氮化硅纳米孔,所述...
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