下载基于微型压电剪切片的小型化压电定位平台及其驱动方法的技术资料

文档序号:43478963

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本发明涉及一种基于微型压电剪切片的小型化压电定位平台及其驱动方法,以解决当前微型医疗设备和微机电系统中定位精度低和设备体积过大等问题;本发明由底座、交叉滚子导轨、四个紧固螺钉、三个压电剪切片、柔性铰链、两个预紧螺钉、信号发生器和功率放大器组...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。

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