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本发明涉及微机电系统制造技术领域，尤其是具有应力隔离的MEMS电容式加速度传感器敏感结构及传感器，包括敏感质量块框架、可动电极梳齿、非可动电极梳齿、U形敏感梁、应力隔离结构和止挡结构。当体系受到环境温度变化时，产生的热应力通过应力传递梁和应...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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