下载一种加热吸嘴组件的技术资料

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本发明公开了一种加热吸嘴组件,一种加热吸嘴组件,包括气浮轴承座、设置在所述气浮轴承座内的气浮轴承、与所述气浮轴承连接的吸嘴座组件,所述吸嘴座组件的底部连接有吸嘴,所述吸嘴处连接有加热组件,所述气浮轴承的腔体中设置有真空管,所述真空管内沿其长...
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