下载微机械传感器系统和用于运行微机械传感器系统的方法的技术资料

文档序号:43468230

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本发明涉及一种微机械传感器系统(100),具有微机械结构(110)并且具有操控和检测装置(120),为了以预给定的输出数据速率在输出端(130)处重复地生成和输出传感器测量值,在与微机械传感器系统(100)的输出数据速率相应的输出时间区间(...
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