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本发明提供一种溅射物测量系统，具备：摄像机，拍摄包含熔融部的观察区域的图像；点光源，在从摄像机观察时，朝向观察区域的侧面照射点光；以及控制装置，根据由摄像机拍摄的图像，测量溅射物的大小。...
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