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本公开涉及具有力反馈环路的微机电加速度计。微机电加速度计包括：微结构，其具有感测端子和与感测端子不同的驱动端子、支撑体和可移动质量块，可移动质量块耦合至支撑体从而能够相对于静止位置根据感测轴振荡，以及控制单元，其耦合至微结构从而形成被配置为...
该专利属于意法半导体国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体国际公司授权不得商用。

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