下载一种单晶等径变形功率自动补偿方法的技术资料

文档序号:43465622

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本发明提供一种单晶等径变形功率自动补偿方法,包括以下步骤:在检测周期内,监测等径过程中单晶表面的变形,获取一组单晶生长图像,计算所述单晶的变形比例值;对所述变形比例值进行等级判定;按照所述等级判定的判定等级进行功率补偿。本发明的有益效果是实...
该专利属于内蒙古中环晶体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古中环晶体材料有限公司授权不得商用。

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