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本申请涉及一种微型湿度传感器和湿度测量方法。该微型湿度传感器包括:压电泵结构,包括进气口、压电双晶片、空腔、出气口;空腔的顶部和底部均设置有缺口,进气口与空腔的底部缺口连接,出气口与空腔的顶部缺口连接,进气口和出气口为具有预设长度的通风管;...该专利属于南方电网数字电网研究院股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南方电网数字电网研究院股份有限公司授权不得商用。
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本申请涉及一种微型湿度传感器和湿度测量方法。该微型湿度传感器包括:压电泵结构,包括进气口、压电双晶片、空腔、出气口;空腔的顶部和底部均设置有缺口,进气口与空腔的底部缺口连接,出气口与空腔的顶部缺口连接,进气口和出气口为具有预设长度的通风管;...