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用于傅里叶叠层成像术的光学系统技术方案
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下载用于傅里叶叠层成像术的光学系统的技术资料
文档序号:43452803
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本申请公开了一种经配置用于傅里叶叠层成像术的光学系统(110),所述光学系统包括‑至少一个光发射器(112)阵列,其中每个光发射器(112)经配置用于朝向样品平面(114)发射至少一个照明光束;‑至少一个小透镜阵列(116),其包括多个透镜...
该专利属于豪夫迈·罗氏有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过豪夫迈·罗氏有限公司授权不得商用。
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