下载硅片传送装置的技术资料

文档序号:43452227

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本技术公开了一种硅片传送装置,硅片传送装置包括主体和至少一组转向结构,转向结构设在主体上,转向结构包括第一传送组件、第二传送组件和转向组件,第二传送组件位于第一传送组件的传送方向的一端,第二传送组件的传送方向与第一传送组件的传送方向相互垂直...
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