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本技术公开一种扩散板和等离子体刻蚀装置，其中扩散板包括扩散板本体，扩散板本体上开设有多个气孔，多个气孔的孔径自扩散板本体的中心至板边方向呈渐扩设置；扩散板本体具有相对的第一端和第二端，多个气孔沿扩散板本体的第一端至第二端方向分设为多个第一气...
该专利属于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市恒运昌真空技术股份有限公司授权不得商用。

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