下载一种硅片翻转组件、硅片输送装置及硅片加工系统的技术资料

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本技术涉及太阳电池设备技术领域,公开了一种硅片翻转组件、硅片输送装置及硅片加工系统,包括翻转机构以及感应部件,所述翻转机构包括转动部件以及承载部件,所述承载部件设于所述转动部件,所述承载部件用于承载硅片,所述转动部件用于带动所述承载部件转动...
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