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本发明公开了一种改善铝金属薄膜淀积过程中粘片的方法，适用于在晶圆片上淀积铝金属薄膜的制程中，针对夹持晶圆片的衬垫夹钳进行改进，其特征在于：所述改善方法指的是在圆环状的标准衬垫夹钳的环形内壁上对应于晶圆片缺口的位置设有一遮挡部，且遮挡部的外形...
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