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本技术涉及薄膜材料性能测试领域，具体涉及一种薄膜材料压电和热电性能同步测试的装置，所述装置包括：加热系统、电性能测试系统、水平位移台系统、垂直位移台系统、PVC基板和上位机；利用上述装置可以同时快速、方便的测试各类薄膜材料的压电和热电性能，...
该专利属于中国科学院金属研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。

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