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本发明公开了一种具有双向检测功能的pMUT器件、距离检测方法与应用。所述器件包括电路板、pMUT芯片以及信号处理单元；电路板设置有通孔，pMUT芯片设置于通孔处，任一面均可发射及接收超声波，且第一面自通孔中暴露出，第二面背向通孔；信号处理单...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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